客戶背景

華為技術(shù)有限公司作為全球領(lǐng)先的通信技術(shù)解決方案提供商，在半導(dǎo)體材料、新型電子元件研發(fā)等領(lǐng)域?qū)Ω邷責(zé)崽幚碓O(shè)備提出了嚴(yán)苛要求。需定制一款外加熱式氣氛爐，用于氮化硅等半導(dǎo)體材料的實(shí)驗(yàn)和小批量生產(chǎn)，要求設(shè)備具備高精度控溫、預(yù)抽真空、惰性氣體保護(hù)及快速交付能力。

需求分析

1、技術(shù)需求

溫度范圍：需覆蓋室溫至1000℃，長期穩(wěn)定運(yùn)行。

控溫精度：±1℃，支持多段編程自動控溫。

氣氛控制：預(yù)抽真空至-0.08MPa，通入氮?dú)饣驓鍤庖越档脱鹾俊?/p>

結(jié)構(gòu)設(shè)計：全密閉爐膛，雙層風(fēng)冷外殼，確保安全性和散熱效率。

2、定制化需求

爐膛尺寸：根據(jù)華為實(shí)驗(yàn)樣品規(guī)格，定制300×300×400mm的爐膛空間。

配件擴(kuò)展：集成觸摸屏操作界面、三路氣體流量控制系統(tǒng)及直連式真空泵。

3、交付要求

快速生產(chǎn)：從下單到交付需在30天內(nèi)完成。

技術(shù)支持：提供現(xiàn)場安裝調(diào)試及終身維護(hù)服務(wù)。

解決方案

鄭州博納熱窯爐有限公司基于其箱式氣氛爐得基礎(chǔ)上，為華為量身定制了BR-TF1000外加熱式氣氛爐，具體方案如下：

1、核心參數(shù)優(yōu)化

溫度控制：采用工業(yè)級0.2精度PID儀表，50段可編程曲線，支持0-20℃/分鐘加熱速率，確保材料處理工藝的精確復(fù)現(xiàn)。

爐膛尺寸：φ400x600mm

真空與氣氛系統(tǒng)：預(yù)抽真空后通入氮?dú)浠旌蠚怏w，并通過浮子流量計實(shí)現(xiàn)氣體流量精準(zhǔn)調(diào)節(jié)。

2、定制化功能升級

智能交互：集成7寸觸摸屏及電腦連接軟件，支持工藝曲線存儲與遠(yuǎn)程監(jiān)控。

安全防護(hù)：超溫報警、熱電偶斷裂保護(hù)及漏電斷路器，符合實(shí)驗(yàn)室安全標(biāo)準(zhǔn)。

3、罐體外熱式氣氛爐技術(shù)參數(shù)

3、交付與服務(wù)

依托博納熱自有生產(chǎn)線，30天內(nèi)完成設(shè)備組裝并通過72小時老化測試。

提供一年整機(jī)質(zhì)保及成本價配件供應(yīng)，技術(shù)人員現(xiàn)場調(diào)試并培訓(xùn)操作流程。

實(shí)施效果

效率提升：設(shè)備交付后，華為實(shí)驗(yàn)室成功將氮化硅燒結(jié)周期縮短30%，良品率提升至98%以上。

工藝適配性：多段編程功能支持復(fù)雜熱處理曲線，滿足半導(dǎo)體材料研發(fā)的多樣化需求。

長期合作：基于此次合作，華為與博納熱簽署戰(zhàn)略協(xié)議，后續(xù)定制多臺大功率氣氛爐用于6G材料量產(chǎn)。

客戶評價

“博納熱團(tuán)隊(duì)的專業(yè)性和響應(yīng)速度令人印象深刻，定制化方案完全契合我們的技術(shù)要求，設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定，為研發(fā)效率提供了有力保障?！?/p>

——華為材料實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)人

案例總結(jié)

鄭州博納熱通過技術(shù)定制+快速交付模式，為華為提供了高性能外加熱式氣氛爐，展現(xiàn)了其在高溫設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)積累與服務(wù)能力。

鄭州博納熱電爐工廠實(shí)景